溶胶-凝胶法制备氧化铝绝缘薄膜及其电性能研究

• 作者: 单威 姚曼文 姚熹 杨鹏飞 胡保付
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化铝薄膜 溶胶-凝胶法 无定形 J-E曲线
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 工艺·技术
• 页码范围: 581-584
• 页数: 4页
• 分类号: TB321
• 字数: 3510字
• 语种: 中文

摘要

以乙二醇乙醚为溶剂,异丙醇铝为前驱物,乙酰丙酮为螯合剂,采用溶胶-凝胶法和旋转涂覆工艺,在不同衬底上制备了氧化铝薄膜.通过X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)和金相显微镜等手段对薄膜的微观结构和表面形貌进行了表征.结果表明,溶胶-凝胶法制得的薄膜为无定形结构,表面均匀、致密、无裂纹.通过对薄膜电流密度与电场和时间(J-E和J-t)曲线的测量,对薄膜的电学性能进行了研究.薄膜击穿场强约为2.0～3.0MV/cm,在电场强度为0.5MV/cm时,漏电流密度约为9.0×10-6 A/cm2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚熹	同济大学功能材料研究所	123	956	16.0	21.0
2	姚曼文	同济大学功能材料研究所	4	16	2.0	4.0
3	杨鹏飞	同济大学功能材料研究所	7	108	4.0	7.0
4	单威	同济大学功能材料研究所	1	10	1.0	1.0
5	胡保付	同济大学功能材料研究所	1	10	1.0	1.0