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PECVD技术制备碳纳米管的研究
PECVD技术制备碳纳米管的研究
原文服务方：
江西科学
摘要：
碳纳米管的制备方法有电弧法、激光蒸发法、化学气相沉积法(CVD法)、火焰法、水热法和模板法等.主要介绍了等离子体化学气相沉积法制备碳纳米管,并对此方法制备的碳纳米管形貌进行了表征,最终优化出最佳的实验工艺.
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PECVD
氮气
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碳纳米管
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期刊影响力
江西科学
主办单位：
江西省科学院
出版周期：
双月刊
ISSN：
1001-3679
CN：
36-1093/N
开本：
大16开
出版地：
邮发代号：
创刊时间：
1983-01-01
语种：
chi
出版文献量（篇）
4032
总下载数（次）
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总被引数（次）
17843
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