紫外LED光刻光源系统的研究进展

• 作者: 万军 王国贵 王彬 罗宁宁 肖孟超 高益庆
• 来源期刊: 照明工程学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 紫外LED 光刻光源 光束整形 照明系统
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: LED & OLED照明研究
• 页码范围: 53-57
• 页数: 5页
• 分类号: O439+.3
• 字数: 2935字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-440X.2013.02.015

摘要

紫外LED光刻光源具有价格低廉、体积小、能耗低、寿命长、环保等诸多优点,因而近年来受到国内外学者的广泛关注.本文简要分析光刻光源系统的结构,归纳紫外LED光刻光源的特点,详细阐述现阶段国内外对紫外LED光刻光源系统的最新研究进展及成果,通过对系统输出光特性的综合分析与讨论全面综述了紫外LED光刻光源系统的光学设计方法,为紫外LED应用于高端微加工设备的进一步研究提供有益参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高益庆		47	396	10.0	18.0
2	罗宁宁		11	44	5.0	6.0
3	王国贵		1	6	1.0	1.0
4	肖孟超		4	16	3.0	4.0
5	王彬		1	6	1.0	1.0
6	万军		1	6	1.0	1.0