高性能朗缪尔探针测量仪的研制

• 作者: 张蜜蜜 李想 程健
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体 朗缪尔探针 测量 动态微弱信号 高边检流 低噪声
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 数据采集与处理
• 页码范围: 48-51
• 页数: 4页
• 分类号: TH862
• 字数: 1850字
• 语种: 中文

摘要

简要介绍了朗缪尔探针测量仪的系统构成和工作原理,给出了信号发生及采集处理系统的电路设计.通过选用精密低噪声的仪用放大器并组合适当大小、适宜材料的电阻和电容构建模拟链路,以及贯穿于整个模拟链路的滤波电路设计,保证了低噪声采集电路的实现.采用高边检流和浮地方法,解决了单探针测量接地误差问题.设计有8×7个不同的电流采样量程,电压电流信号同步采样,可实现10nA～50 mA动态微弱信号的精确测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程健	中国科学技术大学信息科学技术学院自动化系	91	589	12.0	21.0
2	李想	中国科学技术大学信息科学技术学院自动化系	28	91	6.0	8.0
3	张蜜蜜	中国科学技术大学信息科学技术学院自动化系	1	5	1.0	1.0