硅晶片金刚线多线切割机

• 作者: 吴新龙 梅东江 欧阳桥桢 胡根平 蔡俊杰
• 来源期刊: 现代机械
• 学科: 工学
• 关键词: 硅晶片 多线切割 金刚线 切割机 工艺
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 设计·研究·分析
• 页码范围: 54-57,64
• 页数: 5页
• 分类号: TH6
• 字数: 3282字
• 语种: 中文

摘要

本文阐述了硅晶片金刚线多线切割原理,并对自主研发的硅晶片多线切割机及其工艺作了介绍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	欧阳桥桢		1	9	1.0	1.0
2	胡根平		1	9	1.0	1.0
3	蔡俊杰		1	9	1.0	1.0
4	梅东江		1	9	1.0	1.0
5	吴新龙		1	9	1.0	1.0