非理想矩形锚单元的节点分析法

• 作者: 刘恒 刘清惓 张加宏 李敏
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 非理想矩形锚 节点法 加权余量法 铁木辛柯梁理论 MEMS
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 647-653
• 页数: 7页
• 分类号: TN401|TN402
• 字数: 5467字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2013.05.011

摘要

为了在节点化设计方法中考虑非理想锚效应,采用铁木辛柯梁理论和加权余量法建立了非理想矩形锚单元的节点化模型,在Hspice中构建了相应的等效电路.结合已有单元模型,实现了静电执行器的系统级仿真,与有限元模拟结果吻合较好,可模拟出非理想矩形锚对系统静态和动态特性的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李敏		46	160	7.0	11.0
3	刘恒		31	75	4.0	6.0
7	刘清惓		42	91	5.0	7.0
11	张加宏		45	188	8.0	11.0