氩氧流量对ZAO薄膜微结构及其光学性能影响

• 作者: 万文琼 冯晓炜 况慧芸 朱华
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO∶Al薄膜 透射率 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2013,（9）
• 页码范围: 1808-1813
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 3330字
• 语种: 中文

摘要

运用射频磁控溅射技术,改变氩氧流量比在玻璃衬底上生长ZnO∶ Al(ZAO)样品,采用XRD、紫外-可见分光光度计对薄膜微结构、厚度及其光学性能表征,结果发现:维持氩流量不变(9 sccm),随着氧流量增加(1～9 sccm),样品XRD峰强减小,半高宽增大,晶粒尺寸减小,薄膜结晶性能变差;而维持氧流量不变(9 sccm),氩流量减小(9～3 sccm),样品XRD峰强增大,半高宽减小,晶粒尺寸变大,结晶性能变好.紫外可见光光谱在400 ～ 900nm波长区间平均透射率差异大(67.9％ ～91.1％);在420 ～ 900 nm波长区间平均透光率高且差异小(90.2％ ～92.4％).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	况慧芸	景德镇陶瓷学院科技艺术学院工程系	12	61	4.0	7.0
2	朱华	景德镇陶瓷学院机电学院	30	108	6.0	8.0
6	冯晓炜	景德镇陶瓷学院科技艺术学院工程系	7	17	2.0	4.0
7	万文琼	景德镇陶瓷学院科技艺术学院工程系	8	8	2.0	2.0