化学水浴法制备In2S3薄膜的组织和性能研究

• 作者: 何代华 刘平 刘新宽 李伟 王卫兵 陈小红 马凤仓
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 化学水浴法 In2S3 薄膜 pH值 浓度比 溶液温度
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 功能薄膜
• 页码范围: 402-407
• 分类号: TM615
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2013.05.02

摘要

采用化学水浴(CBD)法在InCl3·4H2O和CH3CSNH2的酸性混合溶液体系中分别通过改变pH值、溶液nIn∶nS浓度比及溶液温度参数依次制备In2S3薄膜,并通过X射线衍射、扫描电镜及紫外/可见/近红外分光光度计等手段系统研究不同工艺下制备In2S3薄膜的晶相结构、表面形貌及光学性能.研究发现:溶液pH值对制备In2S3薄膜有很大的影响,在pH为1.8制备的In2S3薄膜性能较好；溶液nIn∶ns浓度比影响薄膜的致密性,在1∶4时相对较好；CBD法制备薄膜最佳溶液温度为80℃.在优化工艺参数下制备的In2S3薄膜可见光透过率在90％以上,禁带宽度为2.72eV,能够满足CIGS太阳能电池缓冲层薄膜的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘平	上海理工大学材料科学与工程学院	212	1078	16.0	22.0
2	陈小红	上海理工大学材料科学与工程学院	123	622	13.0	18.0
3	李伟	上海理工大学材料科学与工程学院	131	544	12.0	19.0
4	马凤仓	上海理工大学材料科学与工程学院	109	494	12.0	18.0
5	刘新宽	上海理工大学材料科学与工程学院	137	518	12.0	18.0
6	何代华	上海理工大学材料科学与工程学院	66	203	8.0	12.0
7	王卫兵	上海理工大学机械工程学院	4	18	3.0	4.0