不同初始张紧状态下内圆锯片刀刃的磨损研究

• 作者: 黄蕊慰
• 来源期刊: 装备制造技术
• 学科: 工学
• 关键词: 内圆锯片 初始张紧 磨损
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 6-8
• 页数: 3页
• 分类号: TG717
• 字数: 1874字
• 语种: 中文

摘要

内圆锯切具有切片精度高,成本低,晶向便于调整和适合小批量多规格晶体加工的优点,已广泛应用于半导体晶棒的切片加工工序中.笔者通过实验加工和扫描电镜(SEM)观测,对正常初始张紧状态和非正常初始张紧状态下的锯片刀刃磨损微观形貌进行观察,分析研究不同初始张紧状态下锯片刀刃的磨损状况,以使对锯片磨损机理建立较清楚的认识,为改善锯片磨损状况,提高加工质量,延长锯片使用寿命奠定基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄蕊慰		3	4	1.0	2.0