MOCVD法制备GaN基LED外延尾气处理技术进展

• 作者: 欧阳欣
• 来源期刊: 轻工机械
• 学科: 地球科学
• 关键词: 半导体照明 尾气处理 吸附 间接燃烧
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 环保·安全
• 页码范围: 96-98
• 页数: 3页
• 分类号: X701.7
• 字数: 1776字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-2895.2013.03.027

摘要

MOCVD(金属有机物化学气相外延)法制备LED外延技术产生的尾气危害较大,需要进行处理才能排放.针对尾气的不同组分,对现有的几种尾气处理技术进行分析,指出各自存在的缺陷和弊端.从回收利用和节能减排两个角度出发,在原有方法的基础上进行研究改进,提出碱土金属氯化物吸附法和间接燃烧法两种新型尾气处理技术,实现了氨气的回收利用,降低处理过程中的原料投入与能源消耗,并归纳总结了行业内尾气处理与排放所面临的问题及挑战.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	欧阳欣	广东轻工职业技术学院电子通信工程系	9	9	2.0	3.0