液晶空间光调制器波前模拟及误差补偿

• 作者: 乔玉晶 司俊山 张健 张洪鑫 马薇
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: 波前模拟 Zernike多项式 误差补偿 液晶空间光调制器(LC-SLM)
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 光电子器件和系统
• 页码范围: 838-842
• 页数: 5页
• 分类号: O438.1|TN141.9
• 语种: 中文

摘要

反射式液晶空间光调制器(LC-SLM)反射基板的曲率误差和液晶盒的边缘场效应导致波前模拟精度下降问题,本文研究用LC-SLM模拟波前,通过静态误差补偿法和残差反馈法,探讨提高波前模拟精度的有效方法.实验结果表明,LC-SLM能较好模拟基于Zernike多项式的离焦、像散、彗差和球差等8项波像差,但是具有一定的模拟误差,均方根误差(RMS)值平均为0.265λ,静态误差补偿法和残差反馈法使波前模拟误差RMS值分别降低到0.223λ和0.170λ,残差反馈法更有效.提高波前模拟精度能够使LC-SLM在自适应光学技术、飞秒激光加工、实时全息显示和光学测量等领域具有更大的应用前景.