渗透率对柔性收集室检漏测试结果的影响分析

• 作者: 孙伟 孙立臣 李征 王勇 邵容平 闫荣鑫
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 检漏 氦质谱非真空积累检漏法 柔性收集室 渗透率
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 149-152
• 分类号: TB42
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2013.02.10

摘要

柔性收集室检漏技术是氦质谱非真空积累检漏技术的一个重要分支,因此研究柔性收集室检漏技术具有重要的工程实际意义.本文首先以柔性收集室中的氦气分压为研究变量,通过建立和求解常微分方程定量得到了氦气分压随时间变化的数学解析解.其次,通过比较渗透情形与理想情形,得到了采用柔性收集室而导致的测试相对误差与时间之间的数学关系,并结合具体两例讨论了渗透系数对检漏测试结果的影响.研究结果表明:测试结果的相对误差与被测件的泄漏率、累积时间、材料的渗透系数、有效容积均相关.本文的研究结论可以为柔性收集室的工程应用提供理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闫荣鑫		66	257	8.0	11.0
2	孙伟		28	66	5.0	7.0
3	邵容平		21	48	4.0	6.0
4	孙立臣		68	159	6.0	9.0
5	李征		17	48	4.0	6.0
6	王勇		24	85	6.0	8.0