溶胶凝胶法制备透明IZO薄膜晶体管

• 作者: 信恩龙 张建华 李喜峰
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶凝胶法 铟锌氧化物薄膜 薄膜晶体管 低温
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 208-212
• 页数: 5页
• 分类号: TN321+.5
• 字数: 3147字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20133402.0208

摘要

采用溶胶凝胶法制备了非晶钢锌氧化物(a-IZO)薄膜,并作为薄膜晶体管(TFT)的有源层制备了a-IZO TFT.研究了IZO薄膜中铟锌比对薄膜性质及a-IZO TFT器件性能的影响.结果表明:溶胶凝胶法制备的IZO薄膜经低温(300℃)退火后为非晶结构,薄膜表面均匀平整、致密,颗粒大小为20 nm左右,并具有高透过率(＞85％).IZO薄膜中的铟锌比对薄膜的电学性能和TFT器件特性影响显著,增加In含量有利于提高薄膜和器件的迁移率.当铟锌比为3∶2时,所获得的薄膜适合于作为薄膜晶体管的有源层,制备的IZO-TFT经过相对低温(300℃)退火处理具有较好的器件性能,阈值电压为1.3V,载流子饱和迁移率为0.24 cm2·V-1·s-1,开关比(Ⅰon∶Ⅰoff)为105.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张建华	上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室	106	709	13.0	21.0
2	李喜峰	上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室	21	70	5.0	6.0
3	信恩龙	上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室	4	21	3.0	4.0