电子束蒸发制备碳化硼球面涂层的表面氧化研究

• 作者: 于小河 卢铁城 廖志君 林涛 苏明甫 马奔原
• 来源期刊: 四川大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: ICF靶 碳化硼涂层 电子束蒸发 氧化 显微结构
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 601-604
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 1614字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0490-6756.2013.03.034

摘要

利用电子束蒸发技术沉积制备了碳化硼微球涂层,将微球涂层依次经退火和稀硫酸腐蚀处理后得到碳化硼空心微球,并借助XRD和SEM对碳化硼微球涂层的表面氧化问题进行了研究.XRD结果显示当衬底温度在120℃附近时,碳化硼涂层部分被晶化；对退火前后和酸腐蚀后的微球涂层进行SEM分析,结果表明,退火前的涂层表面部分被氧化成B2O3,退火后B2O3覆盖在涂层表面,酸腐蚀可以去掉B2O3,得到表面光洁的碳化硼空心微球.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林涛	四川大学物理系和辐射物理及技术教育部重点实验室	101	538	14.0	18.0
2	卢铁城	四川大学物理系和辐射物理及技术教育部重点实验室	71	351	9.0	14.0
6	廖志君	四川大学物理系和辐射物理及技术教育部重点实验室	17	37	4.0	5.0
7	马奔原	四川大学物理系和辐射物理及技术教育部重点实验室	3	8	1.0	2.0
8	于小河	四川大学物理系和辐射物理及技术教育部重点实验室	4	2	1.0	1.0
9	苏明甫	四川大学物理系和辐射物理及技术教育部重点实验室	3	3	1.0	1.0