氧化铝预脱硅过程RP值的软测量系统

• 作者: 余明正 巍迎春
• 来源期刊: 中国仪器仪表
• 关键词: RP值 软测量 神经网络
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 应用研究
• 页码范围: 47-50
• 页数: 4页
• 字数: 2909字
• 语种: 中文

摘要

针对预脱硅过程的RP值在线实时检测,影响生产质量和生产控制实时性问题,提出了RP值软测量的方法,开发了一套基于神经网络软测量的软件系统,利用此系统对预脱硅过程RP值进行预测.现场运行表明,系统误差在4％以内,对生产质量和控制实时性问题可以起到指导作用,证明了该软测量方法的有效性.