基于法布里-珀罗干涉仪的微位移测量方法研究

• 作者: 任冬梅 兰一兵 朱振宇 李华丰 段小艳
• 来源期刊: 计测技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微位移测量 法布里-珀罗干涉仪 亚纳米分辨力 频率追踪
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 新技术新仪器
• 页码范围: 23-25
• 页数: 3页
• 分类号: TB921|TH744.3
• 字数: 2557字
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种基于法布里-珀罗干涉仪的微位移测量方法,通过将位移测量转化为频率变化量的测量,实现了亚纳米级测量分辨力.建立了基于法布里-珀罗干涉仪的微位移测量实验装置,完成了320 nm范围内的位移测量,并将测量结果与精密电容传感器的测量结果进行了比较.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	段小艳		5	63	3.0	5.0
2	任冬梅		8	68	3.0	8.0
3	朱振宇		14	59	5.0	6.0
4	李华丰		10	27	3.0	4.0
5	兰一兵		3	9	1.0	3.0