基于模块化单元的测试结构阵列设计及其应用

• 作者: 严晓浪 史峥 叶翼 张波 潘伟伟 郑勇军
• 来源期刊: 浙江大学学报（工学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路 纳米级工艺 成品率 测试结构阵列 掩模面积 测试芯片
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 电气工程、电信技术
• 页码范围: 837-842,852
• 页数: 7页
• 分类号: TN43
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2013.05.015

摘要

针对纳米级半导体制造工艺中传统测试芯片掩模面积利用率低的问题,提出一种基于模块化单元的可扩展成品率测试结构阵列设计方法.基于45 nm CMOS制造工艺分别实现32×32和64×64 2个大规模的测试结构阵列,模块化单元的有效面积利用率达79.31％和70.8％；流片后通过测试数据的分析能够发现通孔缺失、通孔尺寸变大以及大尺寸缺陷导致金属缺失等工艺缺陷问题.试验结果同时表明,该方法将传输门器件和测试结构组合成模块化单元；不仅能够实现对测试结构的四端测量,保证测试结果的正确性,并且能够减小成品率测试芯片的掩模面积.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张波		43	470	10.0	21.0
2	史峥		51	176	7.0	11.0
3	严晓浪		246	1634	19.0	29.0
4	叶翼		2	2	1.0	1.0
5	郑勇军		6	51	2.0	6.0
6	潘伟伟		2	0	0.0	0.0