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精细刻痕深度的检测技术
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摘要：
利用常规的干涉显微镜和立式光学计管或接触式干涉仪光管组合，并对干涉显微镜读数目镜进行技改，用来检测精细刻痕深度。例举单刻线样板进行实测和比对的结果，证明所探讨的技术方案可行。
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研究主题发展历程
节点文献
刻痕深度
干涉显微镜
单刻线样板
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
上海计量测试
主办单位：
上海市计量测试技术研究院
上海市计量测试学会
上海市计量协会
出版周期：
双月刊
ISSN：
1673-2235
CN：
31-1424/TB
开本：
大16开
出版地：
上海市宜山路716号
邮发代号：
4-769
创刊时间：
1973
语种：
chi
出版文献量（篇）
3176
总下载数（次）
7
总被引数（次）
5260
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