AlCrTaTiNi/(AlCrTaTiNi)N双层扩散阻挡层的制备及热稳定性

• 作者: 张立东 汪渊 王飞 陈顺礼
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 高熵合金 双层扩散阻挡层 热稳定性
• 年，卷（期）: 2013,（12）
• 页码范围: 1611-1616
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.92
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1037.2013.00207

摘要

通过多靶共溅射的方法,制备了(AlCrTaTiNi)N和双层AlCrTaTiNi/(AlCrTaTiNi)N扩散阻挡层,并利用XRD,EDS和SEM研究了其组织结构、相组成及在高温下的热稳定性能.结果表明,Cu/(AlCrTaTiNi)N/Si经500℃退火后界面处已有脱开倾向,700℃后Cu膜则完全脱落.AlCrTaTiNi可增强Cu和(AlCrTaTiNi)N的粘附性.AlCrTaTiNi/(AlCrTaTiNi)N经800℃退火后仍能起到有效的扩散阻挡性能,900℃下出现了深能级的Cu-Si相,方块电阻急剧升高,表明该阻挡层失效.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王飞		28	53	4.0	7.0
2	汪渊		11	9	1.0	2.0
3	陈顺礼		9	6	1.0	2.0
4	张立东		2	1	1.0	1.0