压电陶瓷阀在真空磁控反应溅射中的特性

• 作者: 刘洪金 周旭 池华敬 焦存柱 王双 章其初 郭帅 陈革
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 压电陶瓷阀 真空磁控反应溅射 迟滞特性 温度特性 闭环控制参数
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 工艺设备
• 页码范围: 382-386
• 分类号: TH138.52
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2013.04.17

摘要

在制备不锈钢-氮化铝(SS-AlN)金属陶瓷集热管的真空磁控溅射镀膜线上,采用PCV25型压电陶瓷阀作为反应气体氮气N2流量输出的驱动元件,实现反应溅射AlN反馈控制.研究了不同环境温度下压电阀偏置电压Vo对N2输出流量Q的影响.实验研究表明,在Vo先增加再减少的过程中,Q相应变化呈现迟滞特性.同时,该迟滞特性受压电阀工作的环境温度影响,环境温度越低迟滞特性越明显.例如与40℃相比,当环境温度为25℃时,压电阀的阈值电压小,饱和电压大,有效工作范围宽,且在压电阀有效工作范围内,N2输出流量Q随偏置电压Vo变化速率小.结合压电陶瓷阀的特性,优化设置反应溅射反馈控制参数,在高于30 kW的溅射功率下,实现反应溅射AlN工艺稳定,制备厚度约为70nm的AlN薄膜在可见光和太阳光范围内吸收几乎为零.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘洪金		2	2	1.0	1.0
2	池华敬	皇明太阳能股份有限公司镀膜研发中心	14	44	5.0	6.0
3	郭帅	皇明太阳能股份有限公司镀膜研发中心	10	14	2.0	3.0
4	陈革	皇明太阳能股份有限公司镀膜研发中心	18	123	5.0	11.0
5	周旭	皇明太阳能股份有限公司镀膜研发中心	10	33	3.0	5.0
6	王双	皇明太阳能股份有限公司镀膜研发中心	13	44	5.0	6.0
7	焦存柱	皇明太阳能股份有限公司真空管厂设备处	4	7	2.0	2.0