微制造技术开放创新实验平台的研究与探讨

• 作者: 刘欢 王珊珊
• 来源期刊: 陕西教育：高教版
• 学科: 教育
• 关键词: 微制造技术 科研资源 开放平台 实践教学
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 页码范围: 54-54
• 页数: 1页
• 分类号: G642.0

摘要

微制造技术包括光刻、薄膜沉积、等离子体刻蚀、键合等技术,是集成电路制造、微机电系统、微光学等的关键技术。微制造设备昂贵,实验室为恒温恒湿超净环境,对人员进出要求严格,往往无法为教学服务。文章研究探讨了如何利用研究型实验室的硬件资源和科研背景,通过网络平台、视频教程、创新实验等形式建立面向全校各相关专业的开放平台,为因微制造相关专业实践教学资源不足,而使得相关实验室的科研设备、科研资源无法为教学服务这一难题探寻一条切实可行的解决途径。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘欢	西安工业大学光电工程学院	19	73	6.0	7.0
2	王珊珊	西安工业大学北方信息工程学院	21	42	4.0	6.0