WC/DLC纳米多层膜微观结构研究

• 作者: 代明江 侯惠君 戴达煌 林松盛 王翔
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 非平衡磁控溅射 离子源 WC/DLC纳米多层膜 微观结构
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 纳米技术
• 页码范围: 41-44
• 分类号: O484.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2013.01.09

摘要

阳极层流型气体离子源与非平衡磁控溅射复合技术沉积制备WC/DLC纳米多层膜,并在膜/基间设计了中间过渡层.用扫描电镜、拉曼光谱仪、光电子能谱仪、X衍射仪、透射电镜、干涉显微镜等,对WC/DLC纳米多层膜的微观形貌结构进行分析研究.结果表明:沉积的WC/DLC膜层表面致密、光滑细腻；多层调制周期在3～4 nn,多层界面不清晰,形成渐变过渡界面.WC/DLC膜中主要是sp2键中掺杂有一定量的sp3键,WC则以纳米晶结构弥散分布在DLC之中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林松盛		45	332	11.0	14.0
2	代明江		52	458	13.0	18.0
3	侯惠君		34	234	10.0	13.0
4	戴达煌		7	38	4.0	6.0
5	王翔		1	4	1.0	1.0