多晶硅生产副产物四氯化硅的综合利用

• 作者: 刘刚
• 来源期刊: 有色金属（冶炼部分）
• 学科: 工学
• 关键词: 四氯化硅 氮化硅 多晶硅 综合利用
• 年，卷（期）: 2013,（8）
• 所属期刊栏目: 轻有色金属
• 页码范围: 22-24,52
• 页数: 4页
• 分类号: TM914.4+1
• 字数: 1784字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7545.2013.08.007

摘要

利用吉布斯自由能理论对四氯化硅合成氮化硅的化学气相沉积体系中可能发生的化学反应进行热力学分析.结果表明,在1 500 K以上反应时,可以得到较高纯度的氮化硅.对多晶硅生产中四氯化硅的来源和主要杂质情况进行了比较,得出的四氯化硅综合利用方式是:将SiCl4(Ⅰ)通入精馏工艺的四氯化硅提纯塔分离三氯化磷后,再与SiCl4(Ⅱ)及SiCl4(Ⅲ)一起进入氮化硅合成炉.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘刚		2	16	2.0	2.0