直流磁控溅射法制备本征ZnO薄膜及光伏应用研究

• 作者: 冯良桓 张静全 李卫 杨志军 武莉莉 王波 黎兵
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO薄膜 太阳电池 直流溅射 CdTe
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 74-78
• 分类号: TM914.4
• 语种: 中文

摘要

采用直流磁控溅射法制备了ZnO薄膜,研究了沉积过程中变换氧分压对薄膜光电性能的影响.采用XRD、紫外可见光分光光度计及AFM等方法对薄膜的结构和光电性质进行了表征.结果表明,ZnO薄膜在可见光范围内的透过率可达88％,并且随着氧分压的增大,薄膜的透过率也增大；制备出的ZnO薄膜表面粗糙度为0.41 nm.在glass/ITO/CdS/CdTe结构的太阳电池中,将本征ZnO薄膜作为高阻层加入到ITO与CdS之间,电池的开路电压和填充因子有明显的提高,加入高阻层之后,电池的转换效率最高可达13.6％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黎兵	四川大学材料科学与工程学院	44	264	8.0	15.0
2	冯良桓	四川大学材料科学与工程学院	78	424	10.0	17.0
3	王波	四川大学材料科学与工程学院	134	936	17.0	23.0
4	张静全	四川大学材料科学与工程学院	69	285	8.0	15.0
5	李卫	四川大学材料科学与工程学院	56	193	7.0	12.0
6	武莉莉	四川大学材料科学与工程学院	56	217	8.0	13.0
7	杨志军	四川大学材料科学与工程学院	1	3	1.0	1.0