一种微机械电场传感器的驱动控制分析与数值仿真

• 作者: 刘恒 孙冬娇 孟瑞丽
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电场传感器 自激振荡 品质因数 平均周期法
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 509-515
• 页数: 7页
• 分类号: TN911.71
• 字数: 5028字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2013.04.014

摘要

针对微机械电场传感器高真空金属封装中存在的电荷累积问题,根据传感器的静电驱动力原理,提出了利用屏蔽层活动结构的振动速度反馈信号结合差分梳齿来调节品质因数的方法.鉴于系统的高阶非线性,利用平均周期法分析了常压封装下自激驱动系统的起振条件和稳态振幅.理论和仿真分析表明,该方法是可行的.直流参考电压VR越大,反馈等效品质因数Q1越小,稳态振幅越大,起振稳定时间越短.时间常数τ越小,越利于抑制幅度的过冲.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘恒	南京信息工程大学电子与信息工程学院	31	75	4.0	6.0
5	孟瑞丽	南京信息工程大学电子与信息工程学院	13	36	3.0	5.0
6	孙冬娇	南京信息工程大学电子与信息工程学院	23	193	5.0	13.0