新型MEMS三维振动传感器的有限元分析

• 作者: 吴淑娟 张国军 李振 薛晨阳
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 振动传感器 MEMS 有限元法 三维 仿生
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 502-508
• 页数: 7页
• 分类号: TH825
• 字数: 3333字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2013.04.013

摘要

针对目前多维振动传感器的需求,研制了一种基于MEMS技术的仿昆虫纤毛三维振动传感器.首先,介绍了振动传感器的仿生机理和工作原理；然后,推导了振动传感器的力学模型并建立了有限元模型；最后,对该传感器进行了静、动态特性分析,并通过实验验证最终得出该传感器的灵敏度为274.18 μV/gn、维间耦合小于等于0.612 5％、测量范围为±25 gn、共振频率为2 342.6 Hz、抗冲击能力为100 gn.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张国军	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	75	334	8.0	13.0
5	薛晨阳	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	136	765	14.0	21.0
9	李振	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	4	19	3.0	4.0
13	吴淑娟	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	2	7	1.0	2.0