MEMS传感器技术及其在海洋观测中的应用

• 作者: 张锁平 张鹏 董叶梓
• 来源期刊: 信息技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 传感器 海洋观测
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 141-144
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 4945字
• 语种: 中文

摘要

MEMS技术是在微电子和半导体技术及超精密机械加工技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域.基于MEMS技术制造的传感器具有高集成度、高灵敏度、高分辨率、智能化、低功耗、低成本等优点,为海洋观测技术的智能化、网络化、小型化提供了技术支持和发展方向.从MEMS传感器的基本原理出发,介绍了MEMS传感器技术及其在海洋观测中的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张锁平		48	209	8.0	11.0
2	董叶梓		2	10	2.0	2.0
3	张鹏		13	52	5.0	6.0