基于LTCC的无线无源压力传感器的研究

• 作者: 丁利琼 康昊 张献生 李晨 秦丽 谭秋林
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 无线无源传感器 压力传感器 互感耦合 LTCC 谐振频率
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 498-501
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 1579字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2013.04.012

摘要

设计了一种基于低温共烧陶瓷(LTCC)的无线无源压力传感器,利用传感器谐振频率对不同应变的响应来表征传感器的应变特性,采用互感耦合的方式对传感器的谐振频率进行读取.搭建了压力测试平台,通过对天线特征参数的测试获取传感器的谐振频率,测试结果表明,基于LTCC的无线无源压力传感器的谐振频率随外界压力的增大而减小,谐振频率随压力的变化近似于线性变化,灵敏度约为543.12 kHz/bar.