SiC的激光表面微造型工艺研究

• 作者: 刘萍萍 谢海银 魏龙
• 来源期刊: 锻压技术
• 学科: 工学
• 关键词: 碳化硅 激光表面微造型 端面螺旋槽
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 特种成形
• 页码范围: 45-49,53
• 分类号: TG135.5|TG665
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3940.2013.04.011

摘要

采用灯泵浦YAG-T50系列激光打标机对SiC进行了端面螺旋槽激光微造型加工实验.采用PS50型非接触式三维表面形貌仪测量了槽深和槽内表面粗糙度.通过实验,研究了有效矢量步长、有效矢量步间延时、Q频率、激光电流等工艺参数对微造型加工质量的影响.实验结果表明,当有效矢量步间延时增大或激光电流增大时,螺旋槽深度随之增大;当有效矢量步长增大或Q频率增大时,螺旋槽深度不断减小;而表面粗糙度值则随着有效矢量步间延时、Q频率和激光电流的增大而减小,随着有效矢量步长的增大而增大.从而得出碳化硅的最佳微造型工艺参数为:有效矢量步长0.001 mm、有效矢量步间延时60μs、Q频率20 kHz、激光电流17 A.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘萍萍	南京化工职业技术学院流体密封与测控技术研究所	19	66	5.0	7.0
2	魏龙		8	86	5.0	8.0
3	谢海银	南京化工职业技术学院机械技术系	2	6	1.0	2.0