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大口径KDP晶体光学元件超精密飞切加工工艺与装备
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篇名 Nanoindentation on the doubler plane of KDP single crystal
来源期刊 半导体学报(英文版) 学科
关键词
年,卷(期) 2013,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 21-25
页数 分类号
字数 语种 英文
DOI 10.1088/1674-4926/34/3/034001
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半导体学报(英文版)
月刊
1674-4926
11-5781/TN
大16开
北京912信箱
2-184
1980
eng
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6983
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