用于微动工作台的光纤位移传感器设计

• 作者: 乐静 申阿维 邵伟 韦宣
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 光纤位移传感器 亚微米 微动工作台
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 115-117
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.9
• 字数: 1969字
• 语种: 中文

摘要

针对微动工作台定位中遇到的位移检测问题,探讨了一种反射式光纤位移传感器.通过分析光纤耦合原理设计了发射接收光纤探头的结构；选择高亮度LED和高灵敏度硅光电池,提高了传感器的抗干扰能力和增强了信号强度；检测电路实现了对信号的去零、放大,从而提高分辨率,解决了这类传感器的线性范围小所引起的不足.实验结果表明:在0200μm的量程内分辨率能达到亚微米级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	乐静	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	32	196	9.0	11.0
2	邵伟	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	30	141	7.0	11.0
3	申阿维	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	2	18	2.0	2.0
4	韦宣	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	1	10	1.0	1.0