一种全新的硅微阵列陀螺仪

• 作者: 吉训生 张印强 李婧 杨波 王寿荣
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 航空航天
• 关键词: 硅微阵列陀螺仪 Ansys仿真 自动增益控制 多传感器信息融合 Kalman滤波
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 471-475
• 页数: 5页
• 分类号: V241.5
• 字数: 425字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2013.04.007

摘要

介绍了一种全新的硅微阵列陀螺仪的结构设计、模态仿真、电路闭环控制、数据融合方法和相关的实验结果.基于热弹性阻尼理论的数值仿真,利用结构解耦的方法设计了硅微阵列陀螺仪的四质量块结构.利用ANSYS软件对硅微阵列陀螺仪的驱动模态和检测模态进行了仿真,仿真结果表明:硅微阵列陀螺仪共有4种不同的工作模态.根据静电力反馈原理,设计了基于数字锁相控制和数字闭环控制方法的控制电路.电路测试结构表明硅微阵列陀螺仪驱动模态的振动幅值的相对稳定性可以达到9×10-5.分析了硅微阵列陀螺仪的随机漂移特性,建立了漂移误差模型,并设计了卡尔曼滤波器以获取硅微阵列陀螺仪的随机漂移的最优估计.利用多传感器信息融合算法,硅微阵列陀螺仪的零偏稳定性可以提高10倍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吉训生	江南大学通信与控制工程学院	54	470	10.0	20.0
2	王寿荣	东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室	94	1158	19.0	28.0
3	杨波	东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室	74	553	13.0	19.0
4	张印强	东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室	23	77	5.0	7.0
8	李婧	东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室	3	21	2.0	3.0