上海光源软X射线干涉光刻线站波荡器光源及束线相干性研究

• 作者: 吴衍青 孟祥雨 王勇 邰仁忠 郭春磊
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: X射线光学 空间相干性 波荡器 相干长度
• 年，卷（期）: 2013,（9）
• 所属期刊栏目: 同步辐射技术及应用
• 页码范围: 1-8
• 页数: 8页
• 分类号: TL501.7
• 字数: 3910字
• 语种: 中文

摘要

同步辐射波荡器光源相干性能逐步提高,使得同步辐射相干光学实验对理论模拟的要求越来越高.对同步辐射光束线空间相干性进行有效的评估,可以指导相干光束线的设计及其相干光学实验的开展.本文利用部分相干光传播计算模型,数值模拟了上海光源软X射线干涉光刻光束线部分相干光的传播,理论和实验结果进行了比较,得到不同参数下的空间相干性,分析了误差产生原因.相干性的定量分析结果可以为实现空间相干性的定量控制提供依据.