一种新型的电离式MEMS气体传感器

• 作者: 侯中宇 潘元志 詹昌华 赵小林
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 一维纳电极阵 电离式气体传感器 气体电导率
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 生物化学类传感器
• 页码范围: 467-470
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 1721字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2013.04.006

摘要

实现了一种新型的电离式MEMS气体传感器,即线性阻抗电离式MEMS气体传感器.该传感器创新地采用了电导率而不是常用的击穿电压来检测不同的气体成分,这样可以避免高电压对器件的影响,提高器件工作状态的可重复性和稳定性.该器件在低压条件下不同气体组分中进行气体放电实验,测出了不同的伏安特性曲线和电导率值,从而证实了该器件的气体传感特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘元志	上海电气集团股份有限公司中央研究院	1	3	1.0	1.0
2	侯中宇	上海电气集团股份有限公司中央研究院	1	3	1.0	1.0