溅射功率对PET基表面沉积纳米铜膜特性影响

• 作者: 孟灵灵 魏取福 黄新民
• 来源期刊: 化工新型材料
• 关键词: 射频磁控溅射 纳米铜膜 原子力显微镜 透光性 导电性 界面性能
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 科学研究
• 页码范围: 112-114
• 页数: 3页
• 字数: 3021字
• 语种: 中文

摘要

室温条件下采用射频磁控溅射法在涤纶(PET)平纹机织物表面沉积纳米Cu薄膜,借助原子力显微镜(AFM)分析溅射功率的变化对铜膜表面形貌、粒径的影响；同时研究不同溅射功率条件下制备的沉积纳米铜织物透光性能、导电性能及界面结合性能.实验结果表明,随着溅射功率增加,纳米铜膜颗粒大小、表面粗糙度随之减小,铜膜的均匀性、致密性先提高后下降；经Cu镀层处理的涤纶平纹织物对紫外光和可见光透射率明显低于原样,溅射功率提高能使样品屏蔽紫外线和可见光效果变好,但功率提高到120W后,屏蔽效果增加不明显；铜膜方阻随溅射功率提高而减小,导电性能增强,而铜膜与基材的剥离强力先增加后减少.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	魏取福	江南大学生态纺织教育部重点实验室	184	913	16.0	21.0
2	孟灵灵	盐城工学院纺织服装学院	24	87	6.0	7.0
4	黄新民	盐城工学院纺织服装学院	23	87	6.0	7.0