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金属辅助化学刻蚀法制备硅纳米线及应用
金属辅助化学刻蚀法制备硅纳米线及应用
作者:
李国才
程超群
胡杰
范绪阁
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
硅纳米线
金属辅助化学刻蚀
可控制备
模板
锂离子电池
摘要:
金属辅助化学刻蚀是近些年发展起来的一种各向异性湿法刻蚀,利用该方法可以制备出高长径比的半导体一维纳米结构.本文综述了金属辅助化学刻蚀法可控制备硅纳米线的最新进展,简要概述了刻蚀的基本过程与机制,重点阐述了基于不同模板的金属辅助化学刻蚀可控制备高度有序、高长径比的硅纳米线阵列的具体流程与工艺,并介绍了其在锂离子电池、太阳能电池、气体传感检测和仿生超疏水等方面的潜在应用,探讨了目前存在的问题及其今后的研究发展方向.
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硅纳米线
制备
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光电子器件
锂离子电池
离子径迹模板辅助法制备InSb纳米线
重离子径迹模板
电化学沉积
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文献信息
篇名
金属辅助化学刻蚀法制备硅纳米线及应用
来源期刊
应用化学
学科
化学
关键词
硅纳米线
金属辅助化学刻蚀
可控制备
模板
锂离子电池
年,卷(期)
2013,(11)
所属期刊栏目
综合评述
研究方向
页码范围
1257-1264
页数
8页
分类号
O649
字数
4992字
语种
中文
DOI
10.3724/SP.J.1095.2013.30048
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
李国才
太原理工大学信息工程学院
7
43
4.0
6.0
2
胡杰
太原理工大学信息工程学院
26
70
6.0
7.0
3
范绪阁
太原理工大学信息工程学院
1
9
1.0
1.0
4
程超群
太原理工大学信息工程学院
1
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引证文献(2)
二级引证文献(0)
2019(2)
引证文献(1)
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引证文献(0)
二级引证文献(1)
研究主题发展历程
节点文献
硅纳米线
金属辅助化学刻蚀
可控制备
模板
锂离子电池
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
应用化学
主办单位:
中国化学会
中国科学院长春应用化学研究所
出版周期:
月刊
ISSN:
1000-0518
CN:
22-1128/O6
开本:
大16开
出版地:
长春市人民大街5625号
邮发代号:
8-184
创刊时间:
1983
语种:
chi
出版文献量(篇)
5741
总下载数(次)
10
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