磁控溅射TiAlN涂层抗氧化性能的研究进展

• 作者: 乔生儒 张程煜 张贝贝 折洁
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 TiAlN涂层 氧化机理 工艺参数 抗氧化性 过渡族元素 多元多层
• 年，卷（期）: 2013,（21）
• 所属期刊栏目: 材料综述
• 页码范围: 14-18
• 页数: 5页
• 分类号: TG174.4
• 字数: 4670字
• 语种: 中文

摘要

简述了TiAlN涂层的应用领域、氧化机理以及采用磁控溅射制备该涂层的方法,分析了制备过程中N2分压、Al靶功率以及基体温度对涂层抗氧化性能的影响规律.同时指出了致密、膜基结合力高的涂层具有较高的抗氧化性;加入其他合适元素和合理设计过渡层不仅可以提高涂层与基体的物理匹配程度,减小内应力,同时也可提高膜基结合力,改善涂层的热力学稳定性及抗氧化性能,将成为今后的研究趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	乔生儒	西北工业大学超高温结构复合材料重点实验室	107	852	15.0	21.0
2	张程煜	西北工业大学超高温结构复合材料重点实验室	38	230	9.0	13.0
3	折洁	西北工业大学超高温结构复合材料重点实验室	2	14	2.0	2.0
4	张贝贝	西北工业大学超高温结构复合材料重点实验室	3	18	3.0	3.0