硅基光栅耦合器的研究进展*

• 作者: Nemkova Anastasia 余金中 俞育德 李智勇 杨彪 肖希
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 光栅耦合器 耦合效率 绝缘体上硅 光子集成
• 年，卷（期）: 2013,（18）
• 页码范围: 254-260
• 页数: 7页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.62.184214

摘要

硅基光子集成芯片的研究近年来发展迅速，已成为信息技术领域中最热门的研究方向之一，光通信、光互连、光传感等相关研发应用机构高度关注其发展，并积极介入。硅基光子集成芯片中，光栅耦合器作为光信号的输入和输出装置受到极大重视，尤其在封装和测试等环节体现出极具价值的技术优势。本文主要分析了光栅耦合器的工作原理、基本特性及国内外的发展现状和趋势，同时也概括了本课题组近期在该方向上的研究成果。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余金中	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	110	703	13.0	21.0
2	俞育德	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	9	43	3.0	6.0
3	李智勇	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	11	71	4.0	8.0
4	杨彪	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	4	29	3.0	4.0
5	肖希	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	2	13	1.0	2.0
6	Nemkova Anastasia	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	2	13	1.0	2.0