四栅网式离子能量分析仪栅网特性研究

• 作者: 弥谦 杭凌侠 潘永强 王飞飞
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 离子能量 栅网式能量分析仪 Simion模拟 四栅网
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与探索
• 页码范围: 34-36,83
• 分类号: TL65
• 语种: 中文

摘要

为了研究等离子体中离子能量的分布规律,基于栅网式离子能量测试原理,采用离子光学模拟软件Simion7.0,对四栅网离子能量分析仪中网格大小和网格间距对离子能量测量结果的影响进行了理论分析.分析结果表明,当离子能量为800 eV左右时,网格尺寸的大小会影响离子能量的测量精度,网格间距的大小对离子能量的测量结果几乎不产生影响.该研究结果对栅网式离子能量测试装置的设计及网格参数的优化具有重要的理论和实践指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	弥谦	西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	60	260	9.0	14.0
2	杭凌侠	西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	93	777	15.0	22.0
3	潘永强	西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	63	392	11.0	15.0
4	王飞飞	西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	3	4	2.0	2.0