等离子体

• 作者: 朱兴尧
• 来源期刊: 物理教学
• 学科: 教育
• 关键词: 等离子体 刻蚀技术 受控热核聚变 托卡马克
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 专论
• 页码范围: 5-7
• 页数: 3页
• 分类号: G633.7
• 语种: 中文

摘要

由离子和电子为主构成的物质状态,称为等离子体.高温等离子体指的是电子与离子的温度都在百万摄氏度以上,并且气体中所有的原子几乎都被电离.所以,把高温等离子体又称为完全电离等离子体.如果产生等离子体的气体元素是较重的元素像氢、氧、氮和乙炔等.这时较重元素的离子温度较低,一般在十万摄氏度以下,并且是非完全电离的.我们把这团由电子、离子和中性原子,甚至中性分子、自由基混合而成的等离子体称为低温等离子体.应用等离子体刻蚀技术在硅片上能刻出非常狭的沟漕,从而制造出大规模集成电路.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱兴尧	中国科学院物理究所	1	0	0.0	0.0