迭代最小二乘法用于非线性移相器的标定

• 作者: 杨怀江 苏志德 邵晶 隋永新
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 光学检测 干涉测量 移相器标定 非线性
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 光学计量与测试
• 页码范围: 624-628
• 页数: 5页
• 分类号: TN206|TH744.3
• 字数: 2795字
• 语种: 中文
• DOI: 10.5768/JAO201334.0403001

摘要

针对移相干涉仪中移相器的非线性会影响测量结果准确性的问题,提出了一种基于迭代最小二乘拟合的标定干涉仪移相器的新方法.对移相器加电压并采集若干幅干涉图后,通过在帧间和帧内迭代开展最小二乘拟合可计算出干涉图间移相值,从而得出了电压值与移相值的对应关系曲线,通过对曲线作非线性拟合并对电压值进行精密调整,完成移相器的精确标定.在改造后的干涉仪上对此标定方法进行验证,与Zygo干涉仪相比,相同元件下两者测量结果之差的RMS值为1.726 nm.该标定方法可以降低高精度面形测量干涉仪对移相器线性度的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	隋永新	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	71	495	11.0	19.0
2	杨怀江	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	62	411	11.0	18.0
3	邵晶	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	8	57	5.0	7.0
7	苏志德	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	5	21	2.0	4.0