具有角度修正功能的大行程二维纳米工作台

• 作者: 张昔峰 袁钰 黄帅 黄强先
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 六自由度工作台 宏微二级驱动 纳米定位 角度误差补偿
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1811-1817
• 页数: 7页
• 分类号: TH703|TP273
• 字数: 3822字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132107.1811

摘要

基于宏微组合驱动方式,提出一种具有角度修正功能的大行程二维纳米工作台设计方案来减小精密测量系统中由于工作台定位及角度误差引入的测量误差.首先,从原理上对设计方案进行了论证.该方案中宏动工作台和微动工作台共用位置反馈系统构成闭环控制,并基于压电陶瓷致动器及柔性铰链设计的六自由度微动工作台对宏动工作台进行直线定位误差及角度误差的综合补偿.然后,基于设计方案设计了宏动工作台及微动工作台的结构.最后,对安装调试后的宏微工作台系统进行了直线组合定位测试及角度误差修正测试.实验结果表明,该工作台系统的宏动行程达到了200 mm×200 mm;在闭环控制下,通过六自由度微动工作台的补偿作用可使各角度偏差由上百秒降至10″以内,由此工作台系统在全行程内的直线定位误差可由3μm降至25 nm以内.实验结果验证了提出的组合定位系统的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄强先	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	46	319	9.0	15.0
2	张昔峰	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	2	21	1.0	2.0
3	黄帅	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	7	87	5.0	7.0
4	袁钰	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	2	22	1.0	2.0