工作气压对ZnO:Mn薄膜结构特性的影响

• 作者: 介琼 倪晓昌 张宇 李彤 赵新为
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO∶Mn 拉曼 稀磁半导体
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 材料合成及性能
• 页码范围: 711-715
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4|TB43
• 字数: 3122字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20133406.0711

摘要

利用射频磁控溅射方法在玻璃衬底上沉积了一系列ZnO∶ Mn薄膜,结合Raman光谱、XRD衍射谱和SEM分析了工作气压对ZnO∶ Mn薄膜结构特性的影响.Raman拟合光谱显示,在工作气压从1Pa增加至4Pa的过程中,ZnO∶ Mn薄膜始终保持着六角纤锌矿结构.但是,随着气压的降低,对应于E2(High)振动模式的Raman散射峰以及与Mn掺杂相关的特征峰左移,说明在低工作气压时,ZnO∶ Mn薄膜内晶格缺陷更多,晶格更加无序.这一结论也得到了XRD和SEM结果的证实.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张宇	天津职业技术师范大学电子工程学院	15	81	3.0	8.0
2	介琼	天津职业技术师范大学电子工程学院	7	11	3.0	3.0
3	李彤	天津职业技术师范大学电子工程学院	18	16	3.0	3.0
4	倪晓昌	天津职业技术师范大学电子工程学院	37	62	4.0	5.0
5	赵新为	东京理科大学物理系	3	4	1.0	2.0