薄镍板上Meso尺度结构的电火花线切割

• 作者: 刘冲 宋满仓 杜立群 王敏杰 解廷利
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 电火花线切割加工 微细加工 薄镍板 Meso尺度 多次切割
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1748-1754
• 页数: 7页
• 分类号: TG661
• 字数: 3848字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132107.1748

摘要

研究了利用常规电火花线切割技术加工薄镍板微小结构的方法.利用慢走丝电火花线切割加工机床对厚度为0.6 mm镍板上的Meso尺度结构进行了加工试验.以机床现有的工艺条件对零件进行试切割,对试切割后的尺寸精度和表面质量进行测量分析,在此基础上通过对放电能量、冲液压力、切割速度等机床参数的调整改进加工工艺.探讨了在200 μm缝宽范围内进行多次切割的方法,并对切割次数进行合理优化、合并.试验结果表明:慢走丝线切割加工对小于机床设定厚度的薄板Meso尺度结构仍可进行稳定加工;通过多次切割的方法可提高表面质量.在200μm窄缝范围内进行5次常规切割,加工后的表面粗糙度值Ra为0.54 μm;在保证表面质量的前提下,将5次切割合并为3次切割,加工后的表面粗糙度值Ra为0.62 μm,加工时间缩短了30％左右.该技术可为电火花线切割加工其他材料薄板微小零件提供支持与参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋满仓	大连理工大学模塑制品教育部工程研究中心	116	803	16.0	22.0
3	杜立群	大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室	61	480	13.0	19.0
4	王敏杰	大连理工大学模塑制品教育部工程研究中心	204	2163	24.0	33.0
8	解廷利	大连理工大学模塑制品教育部工程研究中心	2	7	2.0	2.0