基于MEMS扫描微镜的可调光滤波器的研制

• 作者: 颜廷皓
• 来源期刊: 光通信技术
• 学科: 工学
• 关键词: 可调光滤波器 MEMS扫描微镜 衍射光栅
• 年，卷（期）: 2013,（9）
• 所属期刊栏目: 光器件
• 页码范围: 22-23
• 页数: 2页
• 分类号: TN256
• 字数: 836字
• 语种: 中文

摘要

提出了基于MEMS微镜和透射式衍射光栅的可调光滤波器(TOF)方案,并对TOF进行了详细的设计.其中MEMS微镜采用体硅微加工工艺制作,镜面尺寸达到1.8mm×2.7mm,扭转角度达到±2.1°.测试结果显示,TOF系统的偏振相关损耗为0.34dB,插入损耗为2.6dB.该系统成功地实现了波长调谐的功能,得到相邻通道之间的调谐时间为1.507ms.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	颜廷皓		2	2	1.0	1.0