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摘要:
针对上海光源X射线干涉光刻(XIL)光束线对狭缝精度的要求,提出了一种应用于超高真空的精密四刀狭缝机构及热缓释方案.给出了四刀狭缝机构的工作原理,其四个缝片独立运动,采用线性驱动装置及精密直线导轨来实现开合.根据XIL光束线的特点,设计了一种合理有效的热缓释方案,对缝片进行了热-结构耦合分析.对狭缝的精度指标进行了测试.结果显示:该四刀狭缝的分辨率优于0.1μm、运动重复精度优于2μm、刀口直线度优于2.5 μm、平行度优于0.5 mrad,可以精确实现狭缝在水平和垂直方向-5~250 μm的开度,缝片在热负载下的最大热变形控制在0.034μm.得到的结果表明,该精密四刀狭缝具有高的精度和稳定性,可满足XIL光束线的使用要求,现已实际使用并制备出了100 nm周期的刻蚀线结构.
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文献信息
篇名 超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析
来源期刊 光学精密工程 学科 工学
关键词 X射线干涉光刻光束线 精密狭缝 四刀结构 重复精度 有限元分析
年,卷(期) 2013,(7) 所属期刊栏目 微纳技术与精密机械
研究方向 页码范围 1741-1747
页数 7页 分类号 TH744.1
字数 2342字 语种 中文
DOI 10.3788/OPE.20132107.1741
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 卢启鹏 中国科学院长春光学精密机械及物理研究所应用光学国家重点实验室 63 574 13.0 22.0
2 彭忠琦 中国科学院长春光学精密机械及物理研究所应用光学国家重点实验室 27 364 9.0 19.0
3 龚学鹏 中国科学院长春光学精密机械及物理研究所应用光学国家重点实验室 15 32 3.0 4.0
4 高飒飒 中国科学院长春光学精密机械及物理研究所应用光学国家重点实验室 3 20 2.0 3.0
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研究主题发展历程
节点文献
X射线干涉光刻光束线
精密狭缝
四刀结构
重复精度
有限元分析
研究起点
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相关学者/机构
期刊影响力
光学精密工程
月刊
1004-924X
22-1198/TH
大16开
长春市东南湖大路3888号
12-166
1959
chi
出版文献量(篇)
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总被引数(次)
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