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超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析
超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析
作者:
卢启鹏
彭忠琦
高飒飒
龚学鹏
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
X射线干涉光刻光束线
精密狭缝
四刀结构
重复精度
有限元分析
摘要:
针对上海光源X射线干涉光刻(XIL)光束线对狭缝精度的要求,提出了一种应用于超高真空的精密四刀狭缝机构及热缓释方案.给出了四刀狭缝机构的工作原理,其四个缝片独立运动,采用线性驱动装置及精密直线导轨来实现开合.根据XIL光束线的特点,设计了一种合理有效的热缓释方案,对缝片进行了热-结构耦合分析.对狭缝的精度指标进行了测试.结果显示:该四刀狭缝的分辨率优于0.1μm、运动重复精度优于2μm、刀口直线度优于2.5 μm、平行度优于0.5 mrad,可以精确实现狭缝在水平和垂直方向-5~250 μm的开度,缝片在热负载下的最大热变形控制在0.034μm.得到的结果表明,该精密四刀狭缝具有高的精度和稳定性,可满足XIL光束线的使用要求,现已实际使用并制备出了100 nm周期的刻蚀线结构.
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文献信息
篇名
超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析
来源期刊
光学精密工程
学科
工学
关键词
X射线干涉光刻光束线
精密狭缝
四刀结构
重复精度
有限元分析
年,卷(期)
2013,(7)
所属期刊栏目
微纳技术与精密机械
研究方向
页码范围
1741-1747
页数
7页
分类号
TH744.1
字数
2342字
语种
中文
DOI
10.3788/OPE.20132107.1741
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
卢启鹏
中国科学院长春光学精密机械及物理研究所应用光学国家重点实验室
63
574
13.0
22.0
2
彭忠琦
中国科学院长春光学精密机械及物理研究所应用光学国家重点实验室
27
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9.0
19.0
3
龚学鹏
中国科学院长春光学精密机械及物理研究所应用光学国家重点实验室
15
32
3.0
4.0
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高飒飒
中国科学院长春光学精密机械及物理研究所应用光学国家重点实验室
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精密狭缝
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研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学精密工程
主办单位:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国仪器仪表学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1004-924X
CN:
22-1198/TH
开本:
大16开
出版地:
长春市东南湖大路3888号
邮发代号:
12-166
创刊时间:
1959
语种:
chi
出版文献量(篇)
6867
总下载数(次)
10
总被引数(次)
98767
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