双频容性耦合等离子体相分辨发射光谱诊断

• 作者: 刘文耀 刘永新 徐勇 朱爱民 李小松 杜永权 王友年 赵天亮 高飞
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 双频容性耦合等离子体 等离子体鞘层 发射光谱
• 年，卷（期）: 2013,（20）
• 所属期刊栏目: 气体、等离子体和放电物理
• 页码范围: 361-367
• 页数: 7页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.62.205208

摘要

采用相分辨发射光谱法，对双频容性耦合纯Ar和不同含O2量的Ar-O2混合气体放电等离子体的鞘层激发模式进行了探究.放电腔室耦合电源电极的鞘层区域处观察到两种电子激发模式：鞘层扩张引起的电子碰撞激发模式和二次电子引起的电子碰撞激发模式；并发现这两种激发模式均受到低频射频电源周期的调制.在纯Ar放电等离子体中，两种激发模式的激发轮廓相似；而在Ar-O2混合气放电等离子体中，随着含O2量的增加，二次电子的激发轮廓变弱.此外，利用相分辨发射光谱法对不同含O2量的Ar-O2混合气放电下Ar的750.4 nm谱线在低频周期内的平均光强随轴向分布进行了研究，得到了距耦合电源电极约3.8 mm处为双频容性耦合射频等离子体的鞘层边界.