硬质合金表面TiAlZrCr/(Ti,Al,Zr,Cr)N梯度膜的微结构与力学性能

• 作者: 张钧 王双红 赵时璐 陈卫华
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 梯度膜 多弧离子镀 硬质合金 显微硬度 结合强度
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 214-218
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2013.03.04

摘要

采用多弧离子镀技术,使用Ti-Al-Zr合金靶和Cr单质靶,在wc-8％co硬质合金基体上制备了TiAlZrCr／(Ti,Al,Zr,Cr)N多组元梯度膜.分析了梯度膜的成分、结构和微观组织,并研究了梯度膜的显微硬度和膜／基结合力.研究结果表明,该多组元梯度膜为Bl-NaCl型的TiN面心立方结构；薄膜的成分是以TiAlZrCr合金为过渡层的(Ti,Al,Zr,Cr)N梯度膜；薄膜的组织致密均匀,是典型的柱状晶结构；沉积偏压为-50～-200V时,梯度膜均可获得比(Ti,Al,Zr,Cr)N单层膜更高的硬度(最高值为HV4000)和膜／基结合力(临界载荷大于200 N).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张钧	沈阳大学机械工程学院	49	208	8.0	12.0
2	赵时璐	沈阳大学机械工程学院	20	108	6.0	9.0
6	王双红	沈阳大学机械工程学院	11	37	3.0	5.0