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摘要:
概述了物理气相沉积(PVD)技术的发展过程、特点及工程应用.介绍了香港城市大学先进涂层应用研究实验室(ACARL)近10年来在硬质涂层的开发与应用方面所做的主要工作,包括金刚石薄膜和纳米复合涂层在香港制造业的应用研究,超硬纳米复合涂层的完整性和可靠性研究,以及以脉冲磁控溅射为基础的新型大面积涂层技术的开发和工业化应用研究等.
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文献信息
篇名 物理气相沉积硬质涂层的开发及工程应用
来源期刊 电镀与涂饰 学科 工学
关键词 物理气相沉积 磁控溅射 离子镀 硬质涂层 纳米复合涂层
年,卷(期) 2013,(3) 所属期刊栏目 发展论坛
研究方向 页码范围 75-79
页数 5页 分类号 TG174.444
字数 5048字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 周志烽 香港城市大学机械及生物医学工程学系先进涂层应用研究实验室 1 12 1.0 1.0
2 李国恩 香港城市大学机械及生物医学工程学系先进涂层应用研究实验室 1 12 1.0 1.0
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节点文献
物理气相沉积
磁控溅射
离子镀
硬质涂层
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相关学者/机构
期刊影响力
电镀与涂饰
半月刊
1004-227X
44-1237/TS
大16开
广州市科学城科研路6号
46-155
1982
chi
出版文献量(篇)
5196
总下载数(次)
23
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