耦合结构对音叉式陀螺振动特性的影响

• 作者: 孙香政 王刚 郭志想 陆志东
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: MEMS 耦合结构 有限元 音叉式陀螺 振动特性
• 年，卷（期）: 2013,（12）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1695-1699
• 页数: 5页
• 分类号: V241.5|O325
• 字数: 3405字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2013.12.014

摘要

耦合结构对MEMS音叉式陀螺振动特性具有重要影响。针对一种典型结构的音叉式陀螺及其耦合结构，在分析其工作原理的基础上，建立了其驱动模态的振动模型。基于该模型，计算了在陀螺刚度不对称、驱动力幅值不对称及质量不对称3种情况下，该耦合结构对陀螺振动特性的影响。利用有限元仿真软件，对该耦合结构在3种情况下对陀螺振动特性的影响进行了仿真比较。计算与仿真结果表明，当驱动力频率恒定时，耦合结构的刚度对振动特性无影响；但是对于工作在固有频率点的音叉式陀螺，通过改变耦合结构尺寸，能够调整陀螺固有频率，进而对振动特性产生影响。根据结果，提出了音叉式陀螺耦合结构的设计准则。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王刚		16	68	5.0	7.0
2	陆志东		2	3	1.0	1.0
3	孙香政		1	3	1.0	1.0
4	郭志想		1	3	1.0	1.0